一、送風潔凈度:
要保證送風潔凈度符合要求,關鍵是凈化系統末級過濾器的性能和安裝。
從潔凈度要求考慮,以低級別潔凈室選用低性能過濾器、高級別潔凈室選用高性能過濾器為原則。一般說來:100萬級可選用高中效過濾器;低于1萬級可選用亞高效或A類高效過濾器;1萬~100級選用B類過濾器;100~1級選用C類過濾器。實際上要選擇好過濾器還要全面考慮潔凈室特性、過濾器特性和凈化系統特性。
二、氣流組織:
潔凈室的氣流組織與一般空調房間有所不同,它要求將最干凈的空氣首先送到操作部位,它的作用在于限制和減少對加工物的污染。為此,在設計氣流組織時應考慮這些原則:盡量減少渦流,避免將工作區以外的污染帶入工作區;盡量防止灰塵的二次飛揚以減少灰塵對工件的污染機會;工作區的氣流要盡量均勻,且其風速要滿足工藝和衛生要求,當氣流向回風口流動時要使空氣中的灰塵能有效的帶走。根據不同的潔凈度要求,選擇不同的送、回風方式。
三、送風量或風速
足夠的通風換氣量是為了稀釋和排除室內污染空氣,根據不同的潔凈度要求,當潔凈室凈高較高時,適當增加換氣次數。其中,100萬級潔凈室的通風量是按高中效凈化系統考慮,其余均按高效凈化系統考慮;當10萬級潔凈室高效過濾器集中布置在機房或系統末端采用亞高效過濾器時,可適當提高換氣次數10-20%。
四、靜壓差
潔凈室維持一定的正壓是保證潔凈室不受或少受污染、以維持設計潔凈度等級必不可少地條件之一。即便是負壓潔凈室,它也必須有不低于它潔凈度級別地相鄰房間或套間維持一定地正壓,負壓潔凈室的潔凈度才能得以維持。
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